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雷射應用
雷射應用

光罩雷射修補系統

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Photomask Laser Repair

 
  • 自行研發的金屬修正液塗布系統
  • 使用熱風槍進行乾燥及燒結
  • Flash-Lamp pumped YAG 雷射,搭配θ 45度旋轉功能,用於塑形光罩線條
  • 工業顯微鏡和高解析度CCD,配備線性鏡頭切換模組
  • 最小雷射加工尺寸:3 μm x 3 μm
  • 軟體式自動對焦功能
  • 整合操作介面系統
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