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雷射應用
雷射應用

TFT-LCD雷射修補系統 (Array / Cell / Module)

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TFT-LCD Laser Repair

 
 
  • 高精度雷射光學系統
  • 多種波長選擇:Nd YAG:1064nm、532nm、355nm、266nm
  • 最小雷射加工尺寸:3 μm x 3 μm(亦可選配 2 μm x 2 μm)
  • X、Y、Z軸解析度 : 0.1um/ pulse
  • X、Y、Z軸重現性 : 3um
  • 工業顯微鏡和高解析度CCD,搭配線性型鏡頭切換模組
  • 半自動加工功能
  • 實時自動對焦,對焦時間≦1秒(選配)
  • Open repair system (選配)
  • Glass-bar type 平台(選配)
  • CIM 系統(選配)
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